Реалізовано ємнісний датчик тиску за допомогою післяобробки низькотемпературної спіканої кераміки (LTCC) на підложці. Технологія виготовлення датчика дозволяє інтегрувати датчик з інтерфейсними схемами і можливо також бездротовими передавачами на підложках LTCC для створення автономної датчикової одиниці. Стаття описує розрахунки конструкції та порівнює експериментальні дані з теоретичними. Особливу увагу приділено довгостроковій поведінці паяльного з'єднання. Різні варіанти конструкції були оцінені з урахуванням відтворюваності та криптознімання. Датчик тиску було успішно інтегровано на підложці LTCC. Використання підложки LTCC дозволяє компактно інтегрувати датчик з інтерфейсною електронікою для створення автономного датчика. Особливою рисою цієї технології є рівна поверхня, що особливо вигідно для використання в аналізі напружень матеріалу, де датчик вбудовується у матеріал для вимірювання розтягуючих і стискаючих напружень. Конфігурація з нікелево-золотим покриттям нержавіючої сталі та припою AuSn20 виявилась найбільш перспективною. Припій AuSn20 достатньо міцний для паяння прогинних пластин на підложках LTCC. Чутливість датчиків добре узгоджується з теорією прогину пластин.